Un matériau innovant pour In

DuPont Engineering Polymers, Newark, Delaware

Les pièces Vespel sont fabriquées à partir d'un polymère unique de DuPont qui a été qualifié de solutionneur de problèmes pour l'industrie des semi-conducteurs. Vespel SPC est une nouvelle génération de pièces et de formes en polyimide Vespel pour la fabrication de semi-conducteurs, avec des performances améliorées et une valeur ajoutée dans les chambres de gravure et autres environnements de traitement de plaquettes exigeants.

Selon le Dr Gary Poovey de Lam Research Corp., concepteur et fabricant d'équipements de traitement utilisés dans la fabrication de circuits intégrés, Vespel possède plusieurs caractéristiques qui sont cruciales pour les applications en chambre. Vespel aElectronics Tech Briefs, juin 1999 survit à des températures élevées, résiste aux cycles thermiques et conserve sa forme sous pression. Il est également très stable dans les environnements plasma et présente une excellente résistance mécanique. Enfin, comme Vespel ne transfère pas de chaleur, il n'attire pas les dépôts aussi facilement que d'autres matériaux, ce qui conduit à une plus grande propreté dans la chambre.

Le Dr Ray DeColibus, développeur de la formulation Vespel SCP, confirme que les niveaux de contamination par les ions métalliques de Vespel ont tendance à être très faibles par rapport aux autres polymères. Vespel est très stable à l'oxydation, même à des températures très élevées, et offre une résistance au plasma améliorée, ce qui est particulièrement critique pour les fabricants de semi-conducteurs.

Le plus gros consommateur actuel de Vespel dans l'industrie des semi-conducteurs est le segment de la gravure, où il est utilisé pour les bagues de serrage de plaquettes, les plaques de distribution de gaz, les bagues isolantes, les revêtements de chambre, les bagues de bord, les bagues de confinement, les vis et clips, et les composants de goupille de levage. Ces pièces en Vespel contribuent à améliorer le rendement de la matrice grâce à une uniformité de gravure accrue et à un effet de bord réduit. Vespel est également utilisé dans les procédés PVD, CVD, d'implantation ionique et autres.

En raison de sa combinaison unique de propriétés, Vespel est utilisé pour remplacer le quartz dans une variété d'applications de semi-conducteurs. De nombreux fabricants de semi-conducteurs remplacent avec succès Vespel par du quartz sans apporter de modifications à leurs conditions de traitement, tout en bénéficiant simultanément des avantages de leurs processus globaux de fabrication de plaquettes. Par exemple, dans les bagues de serrage de plaquettes, la plus grande ténacité de Vespel empêche la rupture qui peut se produire avec l'utilisation de quartz. Les bagues de couverture et les bagues de mise au point ont également été converties en Vespel, pour tirer parti de son uniformité et de sa propreté de gravure supérieures.

Dans des applications récemment documentées, les pièces en Vespel ont duré jusqu'à trois fois plus longtemps que les polyimides standard. Grâce à sa durabilité, sa fiabilité, sa longue durée de vie, sa maintenance réduite et ses rendements accrus, il aide les fabricants de semi-conducteurs à réduire leur coût de possession dans les systèmes de gravure actuels et dans les systèmes plasma haute densité de nouvelle génération. Au moment de l'achat initial et pendant toute la durée de vie de la pièce, le coût des pièces Vespel est très compétitif par rapport au quartz et à la céramique.

Pour répondre au besoin de pièces plus grandes pouvant résister à des conditions de chambre agressives et protéger la pureté du processus, DuPont propose Vespel dans des diamètres allant d'un quart de pouce à 22 pouces. Les pièces king-size sont idéales pour les grands anneaux de confinement, les anneaux de protection, les anneaux de mise au point et diverses autres utilisations.

Pour plus d'informations, visitez le site Web de DuPont Semiconductor Enterprise : www.dupont.com/semiconductors, ou le site Web de Vespel : www.dupont.com/enggpolymers/americas/products/vespel.html ou appelez le 1-800-972-7252 .

Cet article est paru pour la première fois dans le numéro de juin 1999 du magazine Electronics Tech Briefs.

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